2023年中國工業廢氣處理設備行業發展需求現狀分析及未來市場發展趨勢研究

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（1）工業廢氣處理設備行業運行現狀：在部分行業的生產環節中，會產生不同類型、不同程度的廢氣污染物，根據生態環境部公布的生態環境統計年報，廢氣污染物被劃分為二氧化硫、氮氧化物、顆粒物和揮發性有機物，上述分類常見于工業生產中常見的廢氣污染物。大氣中污染物的增加會對生態環境造成不利影響，因此需要在工業生產中對廢氣污染物進行處理以達到排放標準。主要行業廢氣污染物排放種類如下表所示：

一般工業領域特別是電力、鋼鐵、水泥、玻璃、化工等行業，生產過程中會消耗大量的能源、原料等，相應的廢氣污染物的排放量也處于非常高的水平。因此，這類型的行業通常會配套大型的處理系統以滿足較高的處理需求。一般工業領域產生的廢氣包括：二氧化硫、氮氧化物、顆粒物、揮發性有機物等，依據廢氣種類的不同，目前發展出了不同的處理技術，具體如下表所示：

中國鋼鐵、水泥、玻璃產量長期居全球首位，化工產業規模亦居全球前列，相關行業在近年已基本完成了節能減排的目標，但在“雙碳戰略”、高質量發展的背景下，相關行業仍需進一步降低污染物排放量，因此廢氣治理領域發展前景廣闊。國務院《“十四五”節能減排綜合工作方案》要求到2025年，全國化學需氧量、氨氮、氮氧化物、揮發性有機物排放總量比2020年分別下降8%、8%、10%以上、10%以上，重點行業主要污染物排放控制水平基本達到國際先進水平。而根據中國環境保護產業協會的統計，2021年-2025年，中國大氣污染治理市場規模約為1.6萬億-1.8萬億，其中，工業煙氣治理市場規模約4,130-5,360億元，揮發性有機物治理市場約6,500-7,500億元。

中金企信國際咨詢公布的《2023-2028年工業廢氣處理設備市場發展戰略規劃分析及投資規模前景可行性評估預測報告》

（2）半導體行業對工藝廢氣處理設備需求現狀分析：半導體專用工藝廢氣處理設備主要用于處理半導體制程產生的工藝廢氣。晶圓制造各環節過程中會產生溫室效應氣體（CF4等）、腐蝕性氣體（如HBr、Cl2等）、毒性氣體（如BCl3等）、易燃易爆氣體（SiH4、H2等）等工藝廢氣，工藝廢氣具有有毒有害的特性，需要經處理后才能對外排放。早期晶圓制造工藝中，工藝廢氣直接排放到廠務中央處理系統進行處理，這類處理方式將工藝廢氣集中于一個系統內處理，造成廠務中央處理系統處理負荷較大，引發管路腐蝕泄漏、爆炸等安全事故。為有效處理工藝廢氣、降低廠務中央處理系統處理負荷，晶圓制造產線產生對工藝廢氣處理設備的需求。半導體專用工藝廢氣處理設備在制程前端即通過真空泵排放管路與工藝設備相連，工藝制程反應產生的廢氣通過真空泵排放管理進入工藝廢氣處理設備，設備內部通過不同能量方式產生高溫環境，工藝廢氣在高溫環境內進行高溫氧化反應，形成其他穩定化合物或水溶性物質后，再排放至廠務中央處理系統進行處理。半導體專用工藝廢氣處理設備將工藝廢氣的處理前置到工藝制程生產過程中，在工藝廢氣進入廠務中央處理系統前即進行無害化處理，實現了工藝廢氣高效處理。

2018-2022年全球半導體專用工藝廢氣處理設備市場規模現狀分析

數據整理：中金企信國際咨詢

2018-2022年中國半導體專用工藝廢氣處理設備市場規模及京儀裝備市場占有率分析

數據整理：中金企信國際咨詢

以收入口徑計算，2018年至2022年期間半導體專用工藝廢氣處理設備國內市場主要供應商包括京儀裝備、戴思公司、愛德華公司等，該等主要供應商的市占率情況如下：

數據整理：中金企信國際咨詢

以收入口徑計算，2018年以來京儀裝備半導體專用工藝廢氣處理設備市占率由3.12%上升至15.57%，市占率排名由第八上升至第四，市占率穩步提升。根據中金企信統計數據，以收入口徑計算，半導體專用工藝廢氣處理設備國內市場集中度較高，2018年至2022年國內市占率前六廠商合計市占率水平維持在90%左右，其中京儀裝備為唯一一家國內廠商，京儀裝備產品已經打破國外廠商壟斷地位。

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